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一种真空镀膜机的冷却系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022569521.2
申请日：
2020-11-09
公开(公告)号：
CN213803975U
公开(公告)日：
2021-07-27
发明(设计)人：
孙健
陈晓达
申请人：
申请人地址：
063020 河北省唐山市高新区西昌路东侧创业中心B座1层西层
IPC主分类号：
C23C1454
IPC分类号：
代理机构：
北京壹川鸣知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11765
代理人：
林潮
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-27 | 授权 | 授权 |