一种减薄抛光清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121334481.1

申请日：

2021-06-16

公开(公告)号：

CN215543250U

公开(公告)日：

2022-01-18

发明(设计)人：

刘小勇房龙翔叶鑫煌

申请人：

申请人地址：

362100 福建省泉州市泉港区前黄镇驿峰西路499号

IPC主分类号：

B08B310

IPC分类号：

B08B308 B08B314 B08B1300

代理机构：

北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350

代理人：

张爱红

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆减薄抛光装置 [P].

王郁华 ;

谢剑锋 .

中国专利 :CN221517353U ,2024-08-13

[2]

一种晶圆减薄抛光装置 [P].

陈爱军 ;

俞斌 .

中国专利 :CN216030081U ,2022-03-15

[3]

一种晶片减薄的抛光装置 [P].

赵钦 ;

徐合东 ;

解小龙 .

中国专利 :CN222874203U ,2025-05-16

[4]

一种晶片减薄设备 [P].

刘伟 ;

付强 ;

吴健东 .

中国专利 :CN215317544U ,2021-12-28

[5]

一种半导体材料的减薄抛光方法及减薄抛光装置 [P].

林政勋 ;

郭轲科 .

中国专利 :CN116936344B ,2025-08-26

[6]

一种晶圆减薄抛光机构 [P].

徐海洋 ;

解小龙 ;

田光明 ;

肖亚栋 .

中国专利 :CN222608959U ,2025-03-14

[7]

一种减薄抛光的气浮主轴 [P].

刘鸣炎 .

中国专利 :CN221911406U ,2024-10-29

[8]

一种TFT基板减薄抛光后清洗剂 [P].

刘小勇 ;

田博 ;

房龙翔 ;

叶鑫煌 .

中国专利 :CN112662487B ,2021-04-16

[9]

具有果实表面清洗抛光的清洗设备 [P].

董众伟 ;

崔亚梅 .

中国专利 :CN221690005U ,2024-09-13

[10]

一种铝板表面抛光清洗设备 [P].

魏锋 .

中国专利 :CN216802972U ,2022-06-24

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