一种硅片自动上料系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310174136.X
申请日
2013-05-13
公开(公告)号
CN103311167B
公开(公告)日
2013-09-18
发明(设计)人
樊坤 刘良玉 尹昊 龙辉 郭立
申请人
申请人地址
410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
IPC主分类号
H01L21677
IPC分类号
H01L3118
代理机构
长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113
代理人
马强
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
硅片自动上料系统 [P]. 
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陈战友 ;
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[2]
硅片分选机自动上料系统 [P]. 
姚捷 .
中国专利 :CN206312878U ,2017-07-07
[3]
一种自动上料系统 [P]. 
张家春 .
中国专利 :CN112247641A ,2021-01-22
[4]
一种自动上料系统 [P]. 
曾展华 .
中国专利 :CN220885690U ,2024-05-03
[5]
一种自动上料系统 [P]. 
张家春 .
中国专利 :CN214186289U ,2021-09-14
[6]
自动上料系统 [P]. 
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覃奕铭 ;
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[7]
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[8]
一种条形金属型材自动上料系统 [P]. 
官满成 .
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[9]
一种板材自动上料系统 [P]. 
柯建生 ;
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[10]
一种角钢自动上料系统 [P]. 
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邱彦坤 ;
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