一种直拉单晶用热屏装置及单晶硅生产设备

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202110456606.6
申请日
2021-04-27
公开(公告)号
CN113151892A
公开(公告)日
2021-07-23
发明(设计)人
陈立民 赵亮 陈丽芳 王泽东 姜君
申请人
申请人地址
655000 云南省曲靖市曲靖开发区翠峰路83号
IPC主分类号
C30B1500
IPC分类号
C30B2906 C30B1520
代理机构
北京冠和权律师事务所 11399
代理人
朱健
法律状态
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共 50 条
[1]
直拉单晶用热屏装置及单晶硅生产设备 [P]. 
杨敏 ;
白喜军 ;
李强 ;
张亮桢 .
中国专利 :CN111663178A ,2020-09-15
[2]
直拉单晶用热屏装置及单晶硅生产设备 [P]. 
杨敏 ;
白喜军 ;
李强 ;
张亮桢 .
中国专利 :CN210596314U ,2020-05-22
[3]
一种单晶硅直拉热场及单晶硅直拉工艺 [P]. 
焦鹏 ;
王玉龙 ;
黄旭光 .
中国专利 :CN118109896A ,2024-05-31
[4]
一种单晶硅直拉热场可视热屏装置 [P]. 
楚信博 ;
李宁 .
中国专利 :CN203411654U ,2014-01-29
[5]
水冷屏、单晶硅生产设备及单晶硅生产线 [P]. 
高智雪 .
中国专利 :CN221837140U ,2024-10-15
[6]
单晶硅直拉法热屏调整工艺 [P]. 
小暮康弘 ;
贺贤汉 ;
彭海鹏 ;
王汉君 .
中国专利 :CN103668440B ,2014-03-26
[7]
单晶硅生产用单晶炉 [P]. 
芮敏之 .
中国专利 :CN215209690U ,2021-12-17
[8]
直拉法单晶硅生产用石英坩埚 [P]. 
高纪庆 ;
杨晓忠 .
中国专利 :CN2884103Y ,2007-03-28
[9]
直拉式单晶硅棒的生产设备 [P]. 
张小飞 ;
张纪尧 .
中国专利 :CN211057274U ,2020-07-21
[10]
直拉法单晶硅生产用石英坩埚 [P]. 
张勇 .
中国专利 :CN202558962U ,2012-11-28