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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2010-03-31 | 公开 | 公开 |
| 2010-05-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101001747822 IPC(主分类):C23C 18/32 专利申请号:2008102003526 申请日:20080924 |
| 2018-09-07 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 18/32 申请日:20080924 授权公告日:20110615 终止日期:20170924 |
| 2011-06-15 | 授权 | 授权 |