一种改善多晶硅槽式酸制绒绒面的装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120395110.4

申请日：

2011-10-17

公开(公告)号：

CN202259194U

公开(公告)日：

2012-05-30

发明(设计)人：

周小荣周大良罗亮汤辉黄盛娟华菁

申请人：

申请人地址：

410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号

IPC主分类号：

H01L21306

IPC分类号：

B08B1100

代理机构：

长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113

代理人：

马强

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-02	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/306 申请日:20111017 授权公告日:20120530
2012-05-30	授权	授权

共 50 条

[1]

多晶硅制绒槽 [P].

于皓洁 ;

张琳 .

中国专利 :CN201864794U ,2011-06-15

[2]

多晶硅槽式制绒冷却装置 [P].

郝子龙 .

中国专利 :CN101967682A ,2011-02-09

[3]

多晶硅槽式制绒冷却装置 [P].

郝子龙 .

中国专利 :CN201695107U ,2011-01-05

[4]

一种多晶硅制绒槽的滚轮 [P].

夏俊华 .

中国专利 :CN202704449U ,2013-01-30

[5]

多晶硅片的制绒槽 [P].

高贵州 ;

唐传勇 .

中国专利 :CN203085619U ,2013-07-24

[6]

一种多晶硅制绒滚轮 [P].

福克斯·斯蒂芬 ;

吴慧敏 ;

金浩 ;

张昕宇 ;

揭晓东 .

中国专利 :CN207425888U ,2018-05-29

[7]

一种多晶硅制绒系统 [P].

胡海平 ;

班群 ;

方结彬 ;

何达能 ;

陈刚 .

中国专利 :CN202940266U ,2013-05-15

[8]

一种多晶硅制绒溶液及制绒方法 [P].

史磊 ;

钱金梁 ;

陈斌 ;

王步峰 .

中国专利 :CN104060325A ,2014-09-24

[9]

一种多晶硅片制绒刻蚀槽 [P].

杨飞飞 ;

焦朋府 ;

赵彩霞 ;

郭卫 ;

张雁东 ;

张波 ;

梁玲 .

中国专利 :CN209150138U ,2019-07-23

[10]

一种多晶硅片用制绒槽 [P].

楼佳伟 ;

黄炎春 .

中国专利 :CN209658220U ,2019-11-19

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