基于双频激光干涉仪的垂向伺服机构测量装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410277196.9

申请日：

2014-06-20

公开(公告)号：

CN104029829B

公开(公告)日：

2014-09-10

发明(设计)人：

刘杨刘启循陈兴林李宗哲李欣陈震宇范文超

申请人：

申请人地址：

150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

IPC主分类号：

B64G700

IPC分类号：

G01B1102

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-10-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587392501 IPC(主分类):B64G 7/00 专利申请号:2014102771969 申请日:20140620
2014-09-10	公开	公开
2016-02-17	授权	授权
2019-06-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B64G 7/00 申请日:20140620 授权公告日:20160217 终止日期:20180620

共 50 条

[1]

大行程激光干涉仪垂向测量装置和方法 [P].

张俊 ;

许琦欣 .

中国专利 :CN101393009B ,2009-03-25

[2]

基于慢光材料的双频激光干涉仪的角度测量装置及测量方法 [P].

刘炳国 ;

刘国栋 ;

宫娜 ;

浦昭邦 ;

陈凤东 ;

胡涛 ;

庄志涛 .

中国专利 :CN102564354A ,2012-07-11

[3]

双频激光干涉仪测量速度的自由落体测量装置 [P].

程兆谷 ;

高海军 .

中国专利 :CN2727699Y ,2005-09-21

[4]

双频激光干涉仪测量速度的自由落体测量装置 [P].

程兆谷 ;

高海军 .

中国专利 :CN1292226C ,2005-03-02

[5]

光刻机双频激光干涉仪垂向测量光路反射镜调整装置 [P].

吴剑威 ;

谭久彬 ;

胡鹏程 ;

袁勇 .

中国专利 :CN103777308A ,2014-05-07

[6]

一种线性电机和气浮复合驱动的垂向伺服机构 [P].

刘杨 ;

刘启循 ;

陈兴林 ;

李宗哲 ;

李欣 ;

陈震宇 ;

范文超 .

中国专利 :CN104044758A ,2014-09-17

[7]

用于绝对距离测量的双频激光干涉仪及其测量方法 [P].

王渤帆 ;

李中梁 ;

王向朝 ;

步扬 .

中国专利 :CN102168944B ,2011-08-31

[8]

基于慢光材料的双频激光干涉仪直线度测量装置及测量方法 [P].

刘炳国 ;

刘国栋 ;

浦昭邦 ;

陈凤东 ;

胡涛 ;

庄志涛 ;

宫娜 .

中国专利 :CN102538715A ,2012-07-04

[9]

一种用于高精度垂向伺服机构的游标式测量装置及测量方法 [P].

刘杨 ;

刘启循 ;

陈兴林 ;

李宗哲 ;

李欣 ;

陈震宇 ;

范文超 .

中国专利 :CN104019749B ,2014-09-03

[10]

激光干涉仪测量装置 [P].

张俊 .

中国专利 :CN101551235A ,2009-10-07

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