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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-08-11 | 公开 | 公开 |
| 2019-08-27 | 授权 | 授权 |
| 2022-12-20 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/383 变更事项:发明人 变更前:段镶锋 段曦东 张正伟 陈鹏 变更后:段曦东 张正伟 马惠芳 |
| 2017-09-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101745818027 IPC(主分类):H01L 21/383 专利申请号:2017102234322 申请日:20170406 |