基于蓝宝石衬底的HEMT的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011078663.7

申请日：

2020-10-10

公开(公告)号：

CN112216610A

公开(公告)日：

2021-01-12

发明(设计)人：

庄文荣卢敬权

申请人：

申请人地址：

523000 广东省东莞市企石镇科技工业园

IPC主分类号：

H01L21335

IPC分类号：

H01L21683 H01L2150 H01L23373

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

罗泳文

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/335 申请日:20201010
2021-01-12	公开	公开

共 50 条

[1]

基于蓝宝石衬底的AlN薄膜及制备方法 [P].

谭波 ;

张骏 ;

张毅 ;

胡加辉 ;

陈长清 ;

戴江南 .

中国专利 :CN109727847A ,2019-05-07

[2]

色心蓝宝石衬底的制备方法 [P].

蒋成勇 ;

徐军 ;

周圣明 ;

杨卫桥 ;

周国清 ;

王银珍 ;

彭观良 ;

邹军 ;

刘士良 ;

张俊计 ;

邓佩珍 .

中国专利 :CN1540718A ,2004-10-27

[3]

基于蓝宝石衬底外延的准垂直器件及其制备方法 [P].

张泽雨林 ;

张春福 ;

刘丁赫 ;

陈大正 ;

赵胜雷 ;

张进成 ;

郝跃 .

中国专利 :CN116936613B ,2024-05-14

[4]

图案化蓝宝石衬底的制备方法 [P].

谢丁生 ;

谢红 .

中国专利 :CN110767779A ,2020-02-07

[5]

蓝宝石图形衬底的制备方法 [P].

段瑞飞 ;

季安 ;

伊晓燕 ;

王莉 ;

樊中朝 ;

郭金霞 ;

潘岭峰 ;

黄亚军 ;

赵冀 ;

李镇 .

中国专利 :CN103219437A ,2013-07-24

[6]

蓝宝石图形衬底的制备方法 [P].

谢雪峰 .

中国专利 :CN101471404B ,2009-07-01

[7]

废弃蓝宝石衬底的再生方法及蓝宝石衬底 [P].

李刚 ;

靳彩霞 ;

张文燕 ;

胡清富 ;

潘树林 ;

武杰 .

中国专利 :CN113782648A ,2021-12-10

[8]

于蓝宝石衬底表面制作纳米球的方法 [P].

陈达军 .

中国专利 :CN102299055A ,2011-12-28

[9]

一种基于蓝宝石衬底的GaN器件及其制备方法 [P].

许晟瑞 ;

杨赫 ;

路博文 ;

荣晓燃 ;

许钪 ;

陶鸿昌 ;

张涛 ;

张进成 ;

郝跃 .

中国专利 :CN118039478A ,2024-05-14

[10]

蓝宝石衬底GaN HEMT外延片 [P].

宋辉 .

中国专利 :CN223195063U ,2025-08-05

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