共 50 条
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用于运行MEMS系统的方法以及MEMS系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080015709.2
申请日：
2020-01-11
公开(公告)号：
CN113475061A
公开(公告)日：
2021-10-01
发明(设计)人：
F·舒斯特
S·格林
A·彼得森
申请人：
申请人地址：
德国斯图加特
IPC主分类号：
H04N931
IPC分类号：
代理机构：
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人：
郭毅
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-10-01 | 公开 | 公开 |
| 2022-03-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H04N 9/31 申请日:20200111 |