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一种SGT-MOSFET及其制造方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202110653721.2
申请日
:
2021-06-11
公开(公告)号
:
CN113471078A
公开(公告)日
:
2021-10-01
发明(设计)人
:
高学
代萌
申请人
:
申请人地址
:
200135 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区盛夏路560号904室
IPC主分类号
:
H01L21336
IPC分类号
:
H01L2128
H01L2978
H01L29423
代理机构
:
北京智托宝知识产权代理有限公司 11958
代理人
:
刘奕彤
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-12-24
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/336 申请日:20210611
2021-10-01
公开
公开
共 50 条
[1]
一种SGT-MOSFET器件的制备方法及SGT-MOSFET器件
[P].
刘科科
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海韦尔半导体股份有限公司
上海韦尔半导体股份有限公司
刘科科
;
何增谊
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
上海韦尔半导体股份有限公司
上海韦尔半导体股份有限公司
何增谊
;
乐双申
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海韦尔半导体股份有限公司
上海韦尔半导体股份有限公司
乐双申
;
张立波
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
上海韦尔半导体股份有限公司
上海韦尔半导体股份有限公司
张立波
;
袁晴雯
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海韦尔半导体股份有限公司
上海韦尔半导体股份有限公司
袁晴雯
.
中国专利
:CN118553614A
,2024-08-27
[2]
一种SGT-MOSFET元胞及其制造方法和一种电子装置
[P].
和巍巍
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
和巍巍
;
李学会
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
李学会
.
中国专利
:CN115458599A
,2022-12-09
[3]
一种SGT-MOSFET元胞及其制造方法和一种电子装置
[P].
和巍巍
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
深圳基本半导体股份有限公司
深圳基本半导体股份有限公司
和巍巍
;
李学会
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
深圳基本半导体股份有限公司
深圳基本半导体股份有限公司
李学会
.
中国专利
:CN115458599B
,2025-12-19
[4]
一种SGT-MOSFET的制作方法
[P].
刘科科
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中晶新源(上海)半导体有限公司
中晶新源(上海)半导体有限公司
刘科科
;
钟义栋
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中晶新源(上海)半导体有限公司
中晶新源(上海)半导体有限公司
钟义栋
;
董云
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中晶新源(上海)半导体有限公司
中晶新源(上海)半导体有限公司
董云
.
中国专利
:CN117524878A
,2024-02-06
[5]
一种SGT-MOSFET器件及其制作工艺
[P].
刘科科
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中晶新源(上海)半导体有限公司
中晶新源(上海)半导体有限公司
刘科科
;
钟义栋
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中晶新源(上海)半导体有限公司
中晶新源(上海)半导体有限公司
钟义栋
;
董云
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中晶新源(上海)半导体有限公司
中晶新源(上海)半导体有限公司
董云
.
中国专利
:CN117637480A
,2024-03-01
[6]
SGT-MOSFET半导体器件的制备方法
[P].
楼颖颖
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
旭矽半导体(上海)有限公司
旭矽半导体(上海)有限公司
楼颖颖
;
李铁生
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
旭矽半导体(上海)有限公司
旭矽半导体(上海)有限公司
李铁生
.
中国专利
:CN114520146B
,2024-09-17
[7]
SGT-MOSFET半导体器件的制备方法
[P].
楼颖颖
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
楼颖颖
;
李铁生
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
李铁生
.
中国专利
:CN114520146A
,2022-05-20
[8]
一种SGT-MOSFET半导体器件
[P].
张帅
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
张帅
;
黄昕
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
黄昕
;
张攀
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
张攀
.
中国专利
:CN111211174B
,2020-05-29
[9]
一种解决SGT-MOSFET栅极多晶硅刻蚀穿通的工艺方法
[P].
代萌
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
江苏格瑞宝电子有限公司
江苏格瑞宝电子有限公司
代萌
.
中国专利
:CN113690143B
,2024-07-26
[10]
一种解决SGT-MOSFET栅极多晶硅刻蚀穿通的工艺方法
[P].
代萌
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
代萌
.
中国专利
:CN113690143A
,2021-11-23
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