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MEMS热电堆红外传感器及制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110814837.X
申请日：
2021-07-19
公开(公告)号：
CN113428833A
公开(公告)日：
2021-09-24
发明(设计)人：
吕婷
申请人：
申请人地址：
201207 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区蔡伦路1690号3幢405、416室
IPC主分类号：
B81B702
IPC分类号：
B81C100
代理机构：
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人：
卢炳琼
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-10-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20210719 |