使用具电化学蚀刻停止的电化学蚀刻制造瓶沟电容器方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510009035.2

申请日：

2005-02-16

公开(公告)号：

CN100336204C

公开(公告)日：

2005-08-24

发明(设计)人：

S·P·库德卡

申请人：

申请人地址：

联邦德国慕尼黑

IPC主分类号：

H01L218242

IPC分类号：

H01L2182

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

张雪梅;梁永

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-08-24	公开	公开
2010-09-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101005899728 IPC(主分类):H01L 21/8242 专利号:ZL2005100090352 申请日:20050216 授权公告日:20070905
2007-09-05	授权	授权
2005-10-19	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

电化学电容器 [P].

栗城和贵 ;

荻野清文 ;

斎藤祐美子 .

中国专利 :CN105719841B ,2016-06-29

[2]

电化学电容器 [P].

小须田敦子 ;

丸山哲 .

中国专利 :CN1717758A ,2006-01-04

[3]

电化学电容器 [P].

安田直史 .

中国专利 :CN1981352A ,2007-06-13

[4]

电化学电容器 [P].

西森祐太 ;

小城原佑亮 ;

信森千穗 ;

仲村达也 ;

南浦武史 ;

江崎贤一 .

日本专利 :CN120858426A ,2025-10-28

[5]

电化学电容器 [P].

爪田觉 ;

大仓数马 ;

高木和典 ;

石本修一 .

中国专利 :CN105580098A ,2016-05-11

[6]

电化学电容器 [P].

萩原直人 ;

石田克英 .

中国专利 :CN103730264B ,2014-04-16

[7]

电化学电容器 [P].

松村菜穗 .

日本专利 :CN119343732A ,2025-01-21

[8]

电化学电容器 [P].

远藤东吾 ;

岛村宣宽 ;

永光健一 ;

增田祥平 .

日本专利 :CN120418912A ,2025-08-01

[9]

电化学电容器的制造 [P].

薛立人 ;

吴典熹 ;

赵静雯 ;

周俊兆 .

中国专利 :CN1369887A ,2002-09-18

[10]

电化学电容器 [P].

栗城和贵 ;

荻野清文 ;

斎藤祐美子 .

中国专利 :CN102667985A ,2012-09-12

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