一种气相缓蚀剂及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410201058.2

申请日：

2014-05-13

公开(公告)号：

CN104060271B

公开(公告)日：

2014-09-24

发明(设计)人：

陈振宇陈娟曹亚敏金邦能彭军军

申请人：

申请人地址：

448200 湖北省荆门市沙洋县经济开发区五洋路11号

IPC主分类号：

C23F1102

IPC分类号：

代理机构：

华中科技大学专利中心 42201

代理人：

廖盈春

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-08	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23F 11/02 申请日:20140513 授权公告日:20160824 终止日期:20170513
2016-08-24	授权	授权
2014-09-24	公开	公开
2014-10-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587751316 IPC(主分类):C23F 11/02 专利申请号:2014102010582 申请日:20140513

共 50 条

[1]

气相缓蚀剂及其制备方法 [P].

格奥尔格·赖因哈德 ;

乌特·路德维希 ;

格哈德·哈恩 .

中国专利 :CN1306066C ,2004-10-13

[2]

一种气相缓蚀剂 [P].

鞠虹 ;

李霞 ;

刘雲飞 .

中国专利 :CN105274533A ,2016-01-27

[3]

一种气相缓蚀剂及其制备方法 [P].

郭西水 ;

黄雪松 ;

商剑锋 ;

李楹 ;

王清岭 ;

苗宏 ;

马雯 ;

胡庆祥 .

中国专利 :CN109423267B ,2019-03-05

[4]

一种气相缓蚀剂及其制备方法 [P].

王海霞 ;

宋玲 .

中国专利 :CN107354463A ,2017-11-17

[5]

一种环保型气相缓蚀剂及其制备方法 [P].

黄颖为 ;

张圣超 ;

王咚 ;

王芳芳 .

中国专利 :CN111334801A ,2020-06-26

[6]

一种气相缓蚀剂及其制备方法 [P].

刘冬梅 ;

杨兰田 ;

曾文广 ;

陈浩 ;

石鑫 ;

魏晓静 ;

刘青山 ;

杨康 ;

周峰 ;

闻小虎 ;

周诗杰 .

中国专利 :CN114959712B ,2024-02-23

[7]

一种气相缓蚀剂及其制备方法 [P].

赵海洋 ;

高秋英 ;

叶帆 ;

曾文广 ;

石鑫 ;

杨祖国 ;

刘强 ;

张江江 ;

胡广强 ;

段浩文 ;

刘冬梅 ;

魏晓静 ;

高淑红 ;

胡岐川 ;

蒲育 ;

耿方志 .

中国专利 :CN109868477A ,2019-06-11

[8]

一种气相缓蚀剂的制备方法 [P].

高立新 ;

张大全 .

中国专利 :CN100529188C ,2007-06-27

[9]

一种高湿度含氯环境下的气相缓蚀剂及其制备方法 [P].

董超芳 ;

李红梅 ;

李瑞雪 ;

石瑞霞 ;

易盼 .

中国专利 :CN109295459A ,2019-02-01

[10]

一种气相缓蚀剂的制备方法 [P].

梁成浩 ;

高国 .

中国专利 :CN101139717A ,2008-03-12

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