一种单晶硅摆片的制作方法

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专利类型
发明
申请号
CN201811407172.5
申请日
2018-11-23
公开(公告)号
CN109580986A
公开(公告)日
2019-04-05
发明(设计)人
赵坤帅 余才佳 雷宏杰 李鹏飞
申请人
申请人地址
710076 陕西省西安市雁塔区锦业路129号
IPC主分类号
G01P1502
IPC分类号
代理机构
中国航空专利中心 11008
代理人
杜永保
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
单晶硅的制作方法 [P]. 
陈宗霆 ;
张华利 ;
汪晨 ;
张玲玲 ;
周洁 ;
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赵玉兵 ;
苏健 .
中国专利 :CN119753820A ,2025-04-04
[2]
单晶硅薄膜及其制作方法 [P]. 
曲连杰 ;
吕振华 .
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[3]
一种单晶硅的制作方法 [P]. 
尚锐刚 .
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[4]
一种单晶硅空心微针结构的制作方法 [P]. 
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付思齐 ;
张宝顺 .
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[5]
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欧子杨 ;
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[6]
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姜占锋 ;
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[7]
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[8]
单晶硅棒的制作方法和硅片 [P]. 
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罗园 ;
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[9]
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白枭龙 ;
汪沛渊 ;
何丽珠 ;
杨俊 ;
刘礼猛 ;
张涛 ;
金浩 .
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[10]
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