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一种远程等离子体清洗装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202122746829.4
申请日
:
2021-11-11
公开(公告)号
:
CN215997893U
公开(公告)日
:
2022-03-11
发明(设计)人
:
裴胜男
申请人
:
申请人地址
:
230001 安徽省合肥市高新区科学大道102号7号楼307-1室
IPC主分类号
:
B08B700
IPC分类号
:
B08B1300
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-03-11
授权
授权
共 50 条
[1]
一种远程等离子体清洗装置
[P].
詹铁锤
论文数:
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詹铁锤
;
程光周
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程光周
;
薛进
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薛进
;
刘龙威
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刘龙威
.
中国专利
:CN208111407U
,2018-11-16
[2]
等离子体清洗装置
[P].
乐卫平
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0
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0
机构:
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
乐卫平
;
黄晓东
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机构:
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
黄晓东
;
吴基锴
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机构:
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
吴基锴
.
中国专利
:CN220672508U
,2024-03-26
[3]
一种射频远程等离子体清洗装置及射频远程等离子源
[P].
任小体
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机构:
纳微半导体科技(合肥)有限公司
纳微半导体科技(合肥)有限公司
任小体
;
梁立振
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机构:
纳微半导体科技(合肥)有限公司
纳微半导体科技(合肥)有限公司
梁立振
;
郭江涛
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机构:
纳微半导体科技(合肥)有限公司
纳微半导体科技(合肥)有限公司
郭江涛
;
游锦山
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机构:
纳微半导体科技(合肥)有限公司
纳微半导体科技(合肥)有限公司
游锦山
;
蔚伟
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机构:
纳微半导体科技(合肥)有限公司
纳微半导体科技(合肥)有限公司
蔚伟
.
中国专利
:CN121218426A
,2025-12-26
[4]
一种等离子体清洗装置
[P].
张斌
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张斌
.
中国专利
:CN208712420U
,2019-04-09
[5]
一种等离子体清洗装置
[P].
刘东平
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刘东平
;
宗子超
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宗子超
;
周仁武
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周仁武
.
中国专利
:CN204508893U
,2015-07-29
[6]
一种等离子体清洗装置
[P].
张楠林
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张楠林
;
庄李施
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庄李施
.
中国专利
:CN213887438U
,2021-08-06
[7]
一种等离子体清洗装置
[P].
艾政辉
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艾政辉
.
中国专利
:CN214052928U
,2021-08-27
[8]
一种等离子体清洗装置
[P].
苟建伟
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苟建伟
;
苟小卫
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0
苟小卫
.
中国专利
:CN211386123U
,2020-09-01
[9]
一种等离子体清洗装置
[P].
詹铁锤
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詹铁锤
;
程光周
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程光周
;
薛进
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薛进
;
倪红德
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倪红德
.
中国专利
:CN208111396U
,2018-11-16
[10]
感应耦合等离子体清洗装置
[P].
周焱文
论文数:
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周焱文
.
中国专利
:CN212041846U
,2020-12-01
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