具有位置测量装置的X-Y工作台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610839193.9

申请日：

2016-09-21

公开(公告)号：

CN107017179B

公开(公告)日：

2021-08-17

发明(设计)人：

沃尔夫冈·霍尔扎普费尔约尔格·德雷谢尔马库斯·迈斯纳拉尔夫·约尔格尔伯恩哈德·默施托马斯·卡埃尔贝雷尔

申请人：

申请人地址：

德国特劳恩罗伊特

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2166 G01B1100

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

余刚;李慧

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20160921
2021-08-17	授权	授权

共 50 条

[1]

一种并联X-Y工作台 [P].

张君安 ;

刘锡尧 ;

刘波 ;

赵晓龙 .

中国专利 :CN205166401U ,2016-04-20

[2]

双面开关磁阻电机及X-Y工作台 [P].

潘剑飞 ;

曹广忠 ;

秦斌 ;

吴超 ;

孙程乘 .

中国专利 :CN202957729U ,2013-05-29

[3]

双面开关磁阻电机及X-Y工作台 [P].

潘剑飞 ;

曹广忠 ;

秦斌 ;

吴超 ;

孙程乘 .

中国专利 :CN103036380A ,2013-04-10

[4]

一种二自由度的X-Y工作台 [P].

朱华 ;

吴文才 ;

潘松 ;

菅磊 ;

曹如意 .

中国专利 :CN103050151B ,2013-04-17

[5]

具有位置记忆的工作台 [P].

C·皮卡尔 ;

O·皮克诺特 .

中国专利 :CN102458919B ,2012-05-16

[6]

并联X‑Y工作台 [P].

张君安 ;

刘锡尧 ;

刘波 ;

赵晓龙 .

中国专利 :CN105290805B ,2016-02-03

[7]

全自动引线键合机X－Y工作台 [P].

张续业 ;

牛伟光 ;

陈威 .

中国专利 :CN101345200A ,2009-01-14

[8]

激光测量工作台 [P].

朱玉山 .

中国专利 :CN210014753U ,2020-02-04

[9]

一种X-Y双轴控制的超声冲击工作台 [P].

高航 ;

张艳霞 .

中国专利 :CN205473918U ,2016-08-17

[10]

工作台垂直位移测量装置 [P].

曹廷镐 .

中国专利 :CN1168968A ,1997-12-31

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