基板翻转装置以及基板翻转方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110765031.6

申请日：

2021-07-06

公开(公告)号：

CN114104677A

公开(公告)日：

2022-03-01

发明(设计)人：

长江和男松冈聪今福茂树长泽阳介铃木启之

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

B65G47252

IPC分类号：

B65G1514 B65G1520

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

刘文海

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-01	公开	公开

共 50 条

[1]

基板翻转装置以及基板翻转方法 [P].

长江和男 ;

松冈聪 ;

今福茂树 ;

长泽阳介 ;

铃木启之 .

日本专利 :CN114104677B ,2025-12-16

[2]

基板翻转装置以及基板处理装置 [P].

篠原敬 ;

涩川润 ;

加藤洋 .

中国专利 :CN104380456B ,2015-02-25

[3]

翻转装置和基板翻转方法 [P].

李德荣 .

中国专利 :CN115424973A ,2022-12-02

[4]

基板翻转装置 [P].

岩崎信次 ;

米泽信宏 .

中国专利 :CN109415172A ,2019-03-01

[5]

基板翻转装置 [P].

西尾仁孝 ;

高松生芳 ;

上野勉 .

中国专利 :CN110092172A ,2019-08-06

[6]

基板翻转装置 [P].

谷丰 ;

张玉军 .

中国专利 :CN203760448U ,2014-08-06

[7]

基板翻转装置 [P].

梁猛 ;

赵凯 ;

林海涛 ;

卢升 ;

李帆 ;

李兵 .

中国专利 :CN117334617A ,2024-01-02

[8]

基板翻转装置 [P].

坂本义明 .

中国专利 :CN111483809A ,2020-08-04

[9]

基板翻转装置 [P].

安承旭 ;

姜明一 ;

金明辰 .

中国专利 :CN103227125A ,2013-07-31

[10]

基板翻转装置 [P].

西尾仁孝 ;

高松生芳 ;

上野勉 .

中国专利 :CN110015557B ,2019-07-16

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