一种多点抽真空系统及多点抽真空方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310277405.5
申请日
2013-07-03
公开(公告)号
CN104274991A
公开(公告)日
2015-01-14
发明(设计)人
张成 王秋萍 袁毅夫 尹文 池琳
申请人
申请人地址
100101 北京市朝阳区安慧北里安园21号
IPC主分类号
B01D310
IPC分类号
代理机构
北京思创毕升专利事务所 11218
代理人
周媛
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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