工件支承装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580011905.1

申请日：

2015-02-17

公开(公告)号：

CN106068555B

公开(公告)日：

2016-11-02

发明(设计)人：

安田太一榎本辰男

申请人：

申请人地址：

日本东京都千代田区大手町二丁目2番1号

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

代理机构：

北京京万通知识产权代理有限公司 11440

代理人：

许天易

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-11-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101689587473 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2015800119051 申请日:20150217
2018-11-20	授权	授权
2016-11-02	公开	公开

共 50 条

[1]

工件支承装置 [P].

阿希姆·高斯 ;

彼得·拉特格贝尔 .

中国专利 :CN101049701A ,2007-10-10

[2]

工件支承装置 [P].

乡古伦央 ;

谷口敏尚 ;

坂井田敦资 ;

石川富一 ;

冈本圭司 .

中国专利 :CN101447445B ,2009-06-03

[3]

工件支承装置 [P].

小林卓生 ;

堀出 ;

深海健一 ;

小池真央 ;

吉田慎 .

中国专利 :CN103192183B ,2013-07-10

[4]

工件支承装置 [P].

田山达也 .

中国专利 :CN103635286B ,2014-03-12

[5]

工件支承装置、工件处理装置、工件输送装置、工件支承方法及工件处理方法 [P].

柏木诚 ;

伊泽真于 .

中国专利 :CN114102370A ,2022-03-01

[6]

工件接受支承装置 [P].

木村睦 .

中国专利 :CN112549058A ,2021-03-26

[7]

加工工件支承装置 [P].

金震宇 .

中国专利 :CN104339183A ,2015-02-11

[8]

加工工件支承装置 [P].

金震宇 .

中国专利 :CN203471362U ,2014-03-12

[9]

工件接受支承装置 [P].

木村睦 .

日本专利 :CN112549058B ,2025-12-30

[10]

气体上浮工件支承装置及非接触工件支承方法 [P].

铃木祐辉 ;

谷川贞夫 .

中国专利 :CN107407329B ,2017-11-28

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