曝光装置、曝光方法、及元件制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610055966.4

申请日：

2008-07-16

公开(公告)号：

CN105487351A

公开(公告)日：

2016-04-13

发明(设计)人：

荒井大

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

陈伟;王娟娟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101659561598 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2016100559664 申请日:20080716
2020-11-27	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20160413
2016-04-13	公开	公开

共 50 条

[1]

曝光装置、曝光方法、及元件制造方法 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN105652603A ,2016-06-08

[2]

曝光装置、曝光方法、及元件制造方法 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN105301918A ,2016-02-03

[3]

曝光装置、曝光方法及元件制造方法 [P].

长坂博之 ;

奥山猛 .

中国专利 :CN1981365A ,2007-06-13

[4]

曝光装置、曝光方法及元件制造方法 [P].

西井康文 .

中国专利 :CN1954408B ,2007-04-25

[5]

曝光装置、曝光方法、元件制造方法及维护方法 [P].

白石健一 .

中国专利 :CN103439863B ,2013-12-11

[6]

曝光装置、曝光方法以及元件制造方法 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN101675500A ,2010-03-17

[7]

曝光装置、曝光方法以及元件制造方法 [P].

堀川浩人 .

中国专利 :CN100524616C ,2007-02-28

[8]

曝光装置、元件制造方法以及曝光方法 [P].

重松幸二 .

中国专利 :CN101379593A ,2009-03-04

[9]

曝光装置、曝光方法、以及元件制造方法 [P].

长坂博之 ;

恩田稔 .

中国专利 :CN1985354A ,2007-06-20

[10]

曝光装置及元件制造方法 [P].

白石健一 .

中国专利 :CN108490741A ,2018-09-04

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