高纯氨充装系统及利用其充装高纯氨的充装方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610219093.6

申请日：

2016-04-08

公开(公告)号：

CN105864630B

公开(公告)日：

2016-08-17

发明(设计)人：

赵晓兰潘伟刘攀丁高松严巍

申请人：

申请人地址：

314415 浙江省嘉兴市海宁市尖山新区安江路38号

IPC主分类号：

F17C502

IPC分类号：

F17C1300 F17C1302 F17C1304

代理机构：

嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙) 33251

代理人：

郑文涛

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-20	授权	授权
2016-09-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101679317868 IPC(主分类):F17C 5/02 专利申请号:2016102190936 申请日:20160408
2021-07-16	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):F17C 5/02 变更事项:专利权人变更前:海宁市英德赛电子有限公司变更后:浙江英德赛半导体材料股份有限公司变更事项:地址变更前:314415 浙江省嘉兴市海宁市尖山新区安江路38号变更后:314415 浙江省嘉兴市海宁市尖山新区安江路38号
2016-08-17	公开	公开

共 50 条

[1]

可在线充装高纯氨产品的充装系统 [P].

赵晓兰 ;

潘伟 ;

刘攀 ;

丁高松 ;

严巍 .

中国专利 :CN205535036U ,2016-08-31

[2]

高纯氨充装系统中的转盘组件 [P].

丁高松 ;

潘佳伟 ;

沈佳跃 .

中国专利 :CN109630869A ,2019-04-16

[3]

高纯氨钢瓶自动化充装系统 [P].

鄢芝勇 ;

潘佳伟 ;

王龙 ;

沈佳跃 .

中国专利 :CN109630867A ,2019-04-16

[4]

高纯氨钢瓶自动化充装系统 [P].

鄢芝勇 ;

潘佳伟 ;

赵晓兰 ;

丁高松 .

中国专利 :CN109630868A ,2019-04-16

[5]

高纯氨槽车自动化充装系统 [P].

王龙 ;

张清峰 ;

杨康 ;

林新旺 .

中国专利 :CN109538925A ,2019-03-29

[6]

高纯氨充装系统中的钢瓶抓取组件 [P].

鄢芝勇 ;

潘佳伟 ;

李杰 ;

王龙 .

中国专利 :CN109607173A ,2019-04-12

[7]

超纯氨免污染充装方法 [P].

吴纳新 .

中国专利 :CN102213362A ,2011-10-12

[8]

一种高纯氨充装系统及半导体工艺系统 [P].

纪雪峰 ;

陈亮 ;

范威威 .

中国专利 :CN221923064U ,2024-10-29

[9]

一种高纯氨钢瓶自动化充装系统 [P].

赵晓兰 ;

丁高松 ;

潘佳伟 ;

鄢芝勇 .

中国专利 :CN209180650U ,2019-07-30

[10]

一种高纯氦气充装系统 [P].

常国宾 ;

郜晨 ;

范永生 ;

王孝贤 ;

马波 ;

李勇锋 ;

靳超 ;

刘书州 ;

吴井 .

中国专利 :CN221258546U ,2024-07-02

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