一种ITO旋转靶绑定设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921362131.9

申请日：

2019-08-21

公开(公告)号：

CN210506501U

公开(公告)日：

2020-05-12

发明(设计)人：

陈明恒

申请人：

申请人地址：

523000 广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号

IPC主分类号：

C23C1408

IPC分类号：

C23C1435

代理机构：

北京天盾知识产权代理有限公司 11421

代理人：

李少欢

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种ITO旋转靶绑定方法 [P].

陈明恒 .

中国专利 :CN111304605A ,2020-06-19

[2]

一种旋转靶绑定设备 [P].

陈明恒 .

中国专利 :CN210481506U ,2020-05-08

[3]

一种ITO旋转靶绑定装置 [P].

李结松 ;

吕明泽 ;

钟汝梅 ;

王进 ;

周道均 ;

陈杰 .

中国专利 :CN114481049A ,2022-05-13

[4]

一种ITO旋转靶绑定方法 [P].

陈明恒 .

中国专利 :CN110373643B ,2019-10-25

[5]

一种旋转靶材绑定设备 [P].

刘文杰 ;

鲁统伟 ;

余芳 ;

张文涛 .

中国专利 :CN221320070U ,2024-07-12

[6]

一种旋转靶绑定的旋转定位装置 [P].

张益 .

中国专利 :CN211445883U ,2020-09-08

[7]

一种ITO旋转靶绑定双系统自动控温装置 [P].

李兵 .

中国专利 :CN210209037U ,2020-03-31

[8]

一种旋转靶靶材分节绑定装置 [P].

陈明恒 ;

文锋 .

中国专利 :CN208104530U ,2018-11-16

[9]

一种离心绑定ITO旋转靶材的方法 [P].

郑保昌 ;

史伟 ;

卫义成 ;

钟雪琴 ;

欧阳光华 ;

万如意 .

中国专利 :CN112831764A ,2021-05-25

[10]

一种绑定旋转靶材的解绑定装置 [P].

周其刚 ;

王舒宇 ;

李宪民 ;

张宇行 .

中国专利 :CN216972663U ,2022-07-15

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