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工件加工用片及已加工工件的制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201880063344.3
申请日：
2018-11-27
公开(公告)号：
CN111149192A
公开(公告)日：
2020-05-12
发明(设计)人：
小笠原孝文
坂本美纱季
佐伯尚哉
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21301
IPC分类号：
C09J13304
代理机构：
北京路浩知识产权代理有限公司 11002
代理人：
张晶;谢顺星
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-05-12 | 公开 | 公开 |
| 2020-06-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/301 申请日:20181127 |