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一种用于芯片的可靠性高的检测设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910237631.8
申请日：
2019-03-27
公开(公告)号：
CN109884509A
公开(公告)日：
2019-06-14
发明(设计)人：
岳超然
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市南山区南头街道数字文化产业基地东塔1705室
IPC主分类号：
G01R3128
IPC分类号：
G01R1073
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-07-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/28 申请日:20190327 |
| 2021-07-30 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):G01R 31/28 申请公布日:20190614 |
| 2019-06-14 | 公开 | 公开 |