一种用于LDI曝光机的真空度调节装置

被引：0

申请号：

CN202222132413.8

申请日：

2022-08-12

公开(公告)号：

CN218068567U

公开(公告)日：

2022-12-16

发明(设计)人：

韩艳东

申请人：

申请人地址：

230088 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115

代理人：

张风雷

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-16	授权	授权

共 50 条

[1]

一种真空发生器的真空度调节装置 [P].

唐卫东 ;

徐冰 .

中国专利 :CN203516229U ,2014-04-02

[2]

一种真空发生器的真空度调节装置 [P].

刘永平 .

中国专利 :CN209510576U ,2019-10-18

[3]

一种真空发生器的真空度调节装置 [P].

谭子亮 ;

王明乐 ;

张志伟 .

中国专利 :CN216788834U ,2022-06-21

[4]

一种检测真空度的装置 [P].

陈秋林 .

中国专利 :CN202177484U ,2012-03-28

[5]

一种真空度调节装置 [P].

张国财 ;

张晓波 ;

林连男 ;

杨璟 ;

王亚军 ;

毕冰 ;

张杰 ;

张国珍 ;

李大波 .

中国专利 :CN207195202U ,2018-04-06

[6]

一种真空皮带机真空度调节装置 [P].

刘宝辉 .

中国专利 :CN209108732U ,2019-07-16

[7]

一种真空熔炼炉的真空度调节装置 [P].

魏贺立 .

中国专利 :CN212339934U ,2021-01-12

[8]

一种真空发生器的真空度调节装置 [P].

陈明 ;

叶书庆 .

中国专利 :CN221053865U ,2024-05-31

[9]

真空度节气调节装置 [P].

方杞青 ;

任彤 ;

张钰 ;

傅登峰 ;

陈亚文 ;

吴建龙 ;

曹海玲 ;

张明 .

中国专利 :CN202116590U ,2012-01-18

[10]

一种真空度自动调节装置 [P].

陈项孟 .

中国专利 :CN221879629U ,2024-10-22

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