具有多层弹性的微机电探针卡

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610112049.1

申请日：

2006-08-29

公开(公告)号：

CN101135700A

公开(公告)日：

2008-03-05

发明(设计)人：

曹育诚

申请人：

申请人地址：

中国台湾

IPC主分类号：

G01R1073

IPC分类号：

G01R1067 G01R3100 G01R3126 G01R3128 H01L2166

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司

代理人：

李光松

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-07-02	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-03-05	公开	公开
2009-10-21	授权	授权

共 50 条

[1]

基于微机电探针的垂直式探针卡 [P].

刘明星 .

中国专利 :CN207457425U ,2018-06-05

[2]

微机电探针及其制造方法以及具有该微机电探针的探针头 [P].

魏绍伦 ;

许育祯 ;

沈茂发 ;

郭能炫 ;

林千又 ;

朱靖凯 .

中国专利 :CN108572265A ,2018-09-25

[3]

悬臂式探针卡装置及微机电探针 [P].

郑皓严 ;

赖融暘 ;

曾照晖 ;

苏伟志 .

中国专利 :CN119001189A ,2024-11-22

[4]

具有3D电路的微机电探针测试头及探针卡 [P].

黄郑隆 .

中国专利 :CN113495177B ,2024-07-26

[5]

具有3D电路的微机电探针测试头及探针卡 [P].

黄郑隆 .

中国专利 :CN113495177A ,2021-10-12

[6]

具有微机电探针的探针模块及其制造方法 [P].

许育祯 ;

刘邦顺 ;

徐铭达 ;

汤富俊 ;

魏绍伦 ;

谷亚凡 ;

王裕文 .

中国专利 :CN111044764A ,2020-04-21

[7]

一种基于微机电探针的悬臂梁式探针卡 [P].

刘明星 .

中国专利 :CN207528783U ,2018-06-22

[8]

在可重复使用的基板上制造探针卡的微机电探针 [P].

徐曾洋 ;

林宝九 .

中国专利 :CN101644725B ,2010-02-10

[9]

基于弹性基底和背面引线的微机电系统探针卡和制备方法 [P].

陈迪 ;

袁涛 ;

谢耀 ;

林彬彬 ;

崔大祥 .

中国专利 :CN103412164B ,2013-11-27

[10]

微机电探针的制造装置 [P].

蔡明聪 ;

吴坤育 .

中国专利 :CN217230243U ,2022-08-19

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