一种单晶硅片无醇制绒工艺及其制绒添加剂

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201410850205.9
申请日
2014-12-31
公开(公告)号
CN104576831B
公开(公告)日
2015-04-29
发明(设计)人
瞿辉 徐春 曹玉甲 吕晓华
申请人
申请人地址
213000 江苏省常州市武进区高新技术产业开发区阳湖路99号
IPC主分类号
H01L3118
IPC分类号
C30B3310
代理机构
常州市维益专利事务所 32211
代理人
路接洲
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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[2]
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[3]
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[10]
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