一种提高刻蚀药液寿命的工艺

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专利类型
发明
申请号
CN201710259493.4
申请日
2017-04-20
公开(公告)号
CN107098595A
公开(公告)日
2017-08-29
发明(设计)人
朱军 李龙庭 陈霞 王杰 李刚
申请人
申请人地址
230088 安徽省合肥市高新区长宁大道888号
IPC主分类号
C03C1500
IPC分类号
代理机构
昆明合众智信知识产权事务所 53113
代理人
张玺
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种提高发射极方块电阻的湿法刻蚀工艺 [P]. 
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[2]
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[3]
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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