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一种高通量扫描探针显微成像系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110383710.7
申请日：
2021-04-09
公开(公告)号：
CN112945960A
公开(公告)日：
2021-06-11
发明(设计)人：
黄博远
李江宇
申请人：
申请人地址：
518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
IPC主分类号：
G01N2184
IPC分类号：
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
潘登
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-11 | 公开 | 公开 |
| 2021-07-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/84 申请日:20210409 |