掩模板、蒸镀掩模板组件、蒸镀设备及掩模板的制作方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201711062791.0
申请日
2017-11-02
公开(公告)号
CN107587106A
公开(公告)日
2018-01-16
发明(设计)人
吴建鹏 徐鹏 杨忠英 罗昶 李雪萍 黄立为 于名印 冯巧 佘建民 胡红伟 曹英 宋德雄 辛燕霞 周才龙
申请人
申请人地址
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号
C23C1404
IPC分类号
C23C1424 C23C1412
代理机构
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人
许静;刘伟
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
掩模板、蒸镀掩模板组件、蒸镀设备及掩模板的制作方法 [P]. 
吴建鹏 ;
徐鹏 ;
杨忠英 ;
罗昶 ;
李雪萍 ;
黄立为 ;
于名印 ;
冯巧 ;
佘建民 ;
胡红伟 ;
曹英 ;
宋德雄 ;
辛燕霞 ;
周才龙 .
中国专利 :CN107587106B ,2024-12-17
[2]
掩模板、蒸镀掩模板组件及蒸镀设备 [P]. 
吴建鹏 ;
徐鹏 ;
杨忠英 ;
罗昶 ;
李雪萍 ;
黄立为 ;
于名印 ;
冯巧 ;
佘建民 ;
胡红伟 ;
曹英 ;
宋德雄 ;
辛燕霞 ;
周才龙 .
中国专利 :CN207331041U ,2018-05-08
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