剥离装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811398022.2

申请日：

2018-11-22

公开(公告)号：

CN109841543A

公开(公告)日：

2019-06-04

发明(设计)人：

日野原和之松尾晴贵平田和也山本凉兵

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2168

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

乔婉;于靖帅

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-04	公开	公开
2020-11-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20181122

共 50 条

[1]

剥离装置 [P].

日野原和之 ;

松尾晴贵 ;

平田和也 ;

山本凉兵 .

日本专利 :CN109841543B ,2024-02-20

[2]

剥离方法和剥离装置 [P].

山本凉兵 ;

朴木鸿扬 ;

板桥宏治 .

中国专利 :CN115383920A ,2022-11-25

[3]

剥离装置 [P].

日野原和之 .

中国专利 :CN110010519A ,2019-07-12

[4]

剥离装置 [P].

日野原和之 ;

山本凉兵 .

中国专利 :CN109834858B ,2019-06-04

[5]

剥离装置 [P].

横山友宏 .

日本专利 :CN223309046U ,2025-09-05

[6]

剥离装置 [P].

金崎泰三 ;

武田昇 ;

渡部惠介 ;

邱晓明 .

中国专利 :CN114914153A ,2022-08-16

[7]

膜剥离装置 [P].

平松骏也 .

日本专利 :CN117917762A ,2024-04-23

[8]

晶片剥离装置及晶片剥离方法 [P].

吉野道朗 ;

中村浩二郎 ;

古重彻 .

中国专利 :CN103811381B ,2014-05-21

[9]

剥离装置、层叠剥离装置以及剥离方法 [P].

河本健作 ;

松尾干太 .

日本专利 :CN121044418A ,2025-12-02

[10]

剥离器剥离装置 [P].

孙立志 ;

林彬 ;

郭策 .

中国专利 :CN206796758U ,2017-12-26

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