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用于校准超声键合机的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910693605.6
申请日：
2019-07-30
公开(公告)号：
CN110773409A
公开(公告)日：
2020-02-11
发明(设计)人：
F·伊科克
M·查恩塔
S·托费恩科
申请人：
申请人地址：
德国诺伊比贝尔格
IPC主分类号：
B06B302
IPC分类号：
B23K2010
H01L21607
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
王茂华;郭星
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-03-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B06B 3/02 申请日:20190730 |
| 2021-11-05 | 授权 | 授权 |
| 2020-02-11 | 公开 | 公开 |