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一种具有气体检测装置的加热炉
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN200920211547.0
申请日：
2009-10-30
公开(公告)号：
CN201689872U
公开(公告)日：
2010-12-29
发明(设计)人：
董彬
宋大伟
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号：
H01L2100
IPC分类号：
H01L2166
代理机构：
北京市磐华律师事务所 11336
代理人：
董巍;顾珊
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-10-22 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/00 申请日:20091030 授权公告日:20101229 终止日期:20181030 |
| 2010-12-29 | 授权 | 授权 |
| 2013-03-06 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101525393685 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL2009202115470 变更事项:专利权人 变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号 变更后权利人:100176 北京经济技术开发区文昌大道18号 登记生效日:20130129 |