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一种蚀刻生产线的监控装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921294880.2
申请日：
2019-08-09
公开(公告)号：
CN210826362U
公开(公告)日：
2020-06-23
发明(设计)人：
李立福
申请人：
申请人地址：
362301 福建省泉州市南安市溪美街道莲塘村五中127号
IPC主分类号：
C23F108
IPC分类号：
H04N5225
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-11-22 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):C23F 1/08 登记生效日:20221109 变更事项:专利权人 变更前权利人:泉州顺鑫餐饮有限公司 变更后权利人:西安万鹏电子科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:362301 福建省泉州市南安市溪美街道莲塘村五中127号 变更后权利人:710000 陕西省西安市雁塔区丈八东路与子午大道东南角高新领域5号楼2单元2208室 |
| 2020-06-23 | 授权 | 授权 |