用于基板处理腔室的工艺屏蔽物

被引：0

专利类型：

外观设计

申请号：

CN201930430354.3

申请日：

2019-08-08

公开(公告)号：

CN306118918S

公开(公告)日：

2020-10-23

发明(设计)人：

曼朱纳塔·P·科帕阿拉文·卡马特蔡振雄曼朱纳特·H·V 史蒂文·V·桑索尼大卫·奥

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

1509

IPC分类号：

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-23	授权	授权

共 50 条

[1]

用于基板处理腔室的工艺屏蔽物 [P].

伊利亚·拉维特斯凯 ;

基思·A·米勒 ;

吉留刚一 .

中国专利 :CN306532591S ,2021-05-11

[2]

用于基板处理腔室的工艺屏蔽物 [P].

伊利亚·拉维特斯凯 ;

基思·A·米勒 ;

吉留刚一 .

中国专利 :CN306604351S ,2021-06-11

[3]

用于基板处理腔室的工艺屏蔽物 [P].

曼朱纳塔·P·科帕 ;

阿拉文·卡马特 ;

蔡振雄 ;

曼朱纳特·H·V ;

史蒂文·V·桑索尼 ;

大卫·奥 .

中国专利 :CN306118919S ,2020-10-23

[4]

用于工艺腔室部件的封装插入物 [P].

约瑟夫·弗雷德里克·本克 ;

特雷弗·威兰特维奇 ;

克里斯托弗·劳伦特·博德瑞 ;

蒂莫西·道格拉斯·托思 ;

斯科特·奥斯特曼 .

中国专利 :CN307160264S ,2022-03-11

[5]

工艺腔室喷头 [P].

杰拉尔丁·瓦斯奎兹 ;

帕蒂尔·S·斯里尼瓦斯 ;

徐翼 ;

D·Y·山帝仕 ;

吴典晔 ;

贾勒帕里·拉维 ;

雷雨 ;

曼朱纳塔·科帕 .

美国专利 :CN309443412S ,2025-08-15

[6]

工艺腔室歧管 [P].

杰拉尔丁·瓦斯奎兹 ;

斯里尼瓦斯·帕蒂尔·尚塔韦拉·斯瓦米 ;

梅兰·贝德亚特 ;

吴典晔 ;

贾勒帕里·拉维 ;

雷雨 ;

山帝仕·亚当 ;

徐翼 ;

曼朱纳塔·特鲁格 .

美国专利 :CN309324728S ,2025-06-06

[7]

用于工艺腔室的高导通内部屏蔽物 [P].

S·巴布 ;

A·朱普迪 ;

欧岳生 ;

魏俊琪 ;

K·莫 ;

和田优一 ;

张康 .

中国专利 :CN114342038A ,2022-04-12

[8]

用于工艺腔室的高导通内部屏蔽物 [P].

S·巴布 ;

A·朱普迪 ;

欧岳生 ;

魏俊琪 ;

K·莫 ;

和田优一 ;

张康 .

美国专利 :CN114342038B ,2024-10-01

[9]

用于基板处理腔室的基板支撑件 [P].

梁志修 ;

迈克尔·斯特林·杰克逊 ;

吕疆 ;

振雄蔡 ;

松下智治 ;

黄祖滨 .

美国专利 :CN308962345S ,2024-11-22

[10]

用于基板处理腔室的基板支撑件 [P].

梁志修 ;

迈克尔·斯特林·杰克逊 ;

吕疆 ;

振雄蔡 ;

松下智治 ;

黄祖滨 .

美国专利 :CN308496320S ,2024-03-05

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