一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构

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申请号
CN202222197943.0
申请日
2022-08-19
公开(公告)号
CN217966712U
公开(公告)日
2022-12-06
发明(设计)人
陈铁龙 程龙祥
申请人
申请人地址
226000 江苏省南通市开发区星湖大道1692号21(22)幢16008室
IPC主分类号
B25B1100
IPC分类号
H01L21673
代理机构
南通云创慧泉专利代理事务所(普通合伙) 32585
代理人
郭宗胜
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种夹爪机构及晶圆夹取装置 [P]. 
万先进 ;
李俊 ;
李文超 ;
边逸军 .
中国专利 :CN218039156U ,2022-12-13
[2]
花篮夹取机构 [P]. 
周晓谋 ;
张彬 .
中国专利 :CN208516436U ,2019-02-19
[3]
一种晶圆夹取机构 [P]. 
刘孟飞 ;
苏昌全 .
中国专利 :CN223296794U ,2025-09-02
[4]
一种用于夹取圆块的机械夹爪 [P]. 
陈凤芝 .
中国专利 :CN214418848U ,2021-10-19
[5]
一种可控性高的晶圆花篮夹取机构 [P]. 
陈铁龙 ;
林智颖 ;
程龙祥 ;
蔡翔羽 ;
田帅兵 .
中国专利 :CN221176196U ,2024-06-18
[6]
晶圆保护夹爪 [P]. 
周李渊 .
中国专利 :CN210897239U ,2020-06-30
[7]
一种用于夹取模组夹取的夹爪结构 [P]. 
方泽 ;
陈成权 .
中国专利 :CN206998957U ,2018-02-13
[8]
夹爪用晶圆检测装置、晶圆夹爪及晶圆清洗装置 [P]. 
张邵杭 ;
沈雪松 ;
屈文晶 .
中国专利 :CN221977868U ,2024-11-08
[9]
一种晶圆加工用夹爪机构 [P]. 
陈曙光 ;
林坚 ;
王彭 .
中国专利 :CN217020420U ,2022-07-22
[10]
一种新型夹爪及电池夹取机构 [P]. 
黄志权 ;
杨三畅 .
中国专利 :CN222779608U ,2025-04-22