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角速度传感器、传感器元件及多轴角速度传感器
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201780042976.7
申请日：
2017-07-21
公开(公告)号：
CN109477717B
公开(公告)日：
2019-03-15
发明(设计)人：
副岛宗高
申请人：
申请人地址：
日本京都府
IPC主分类号：
G01C195621
IPC分类号：
H01L41047
H01L4109
H01L41113
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
王晖
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-23 | 授权 | 授权 |
| 2019-03-15 | 公开 | 公开 |
| 2019-04-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01C 19/5621 申请日:20170721 |