一种多晶硅还原炉及其使用方法

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专利类型
发明
申请号
CN201810817554.9
申请日
2018-07-24
公开(公告)号
CN108910890A
公开(公告)日
2018-11-30
发明(设计)人
侯彦青 方文宝 余创 王春龙 杜鹏
申请人
申请人地址
650093 云南省昆明市五华区学府路253号
IPC主分类号
C01B33035
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
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共 50 条
[1]
一种多晶硅还原炉 [P]. 
侯彦青 ;
方文宝 ;
余创 ;
王春龙 ;
杜鹏 .
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[2]
多晶硅还原炉 [P]. 
赵振元 ;
罗明树 ;
刘胜春 ;
王明云 ;
江元升 ;
蒋玉梅 ;
王毅勃 .
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[3]
一种多晶硅还原炉底盘以及多晶硅还原炉 [P]. 
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银波 ;
刘兴平 ;
范协诚 ;
冯留建 ;
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[4]
多晶硅还原炉及使用多晶硅还原炉生长多晶硅的方法 [P]. 
秦文军 ;
银波 ;
范协诚 ;
王文 ;
王瑞聪 ;
罗飞飞 ;
胡颖 ;
杜新 ;
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[5]
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[6]
多晶硅还原炉 [P]. 
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[7]
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周积卫 ;
张华芹 ;
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[8]
多晶硅还原炉 [P]. 
程佳彪 ;
张华芹 ;
茅陆荣 ;
周积卫 .
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[9]
多晶硅还原炉 [P]. 
常青 .
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[10]
多晶硅还原炉 [P]. 
朱青松 ;
蒋文武 ;
王存惠 .
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