检测设备及检测方法、检测系统及存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110715534.2

申请日：

2021-06-28

公开(公告)号：

CN113251929B

公开(公告)日：

2021-08-13

发明(设计)人：

陈鲁王紫媛李青格乐吕肃张嵩

申请人：

申请人地址：

518109 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301

IPC主分类号：

G01B1100

IPC分类号：

H01L2166 G06F1716

代理机构：

上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327

代理人：

高静

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-13	公开	公开
2021-10-29	授权	授权
2021-08-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/00 申请日:20210628

共 50 条

[1]

检测设备的检测方法及检测系统、存储介质 [P].

陈鲁 ;

莫云杰 ;

江博闻 ;

姚本溪 ;

吕肃 ;

张嵩 .

中国专利 :CN118347698A ,2024-07-16

[2]

检测设备及检测方法、检测系统及存储介质 [P].

陈鲁 ;

王南朔 ;

王秋实 ;

卢继奎 ;

马砚忠 ;

张嵩 .

中国专利 :CN115561255B ,2025-07-15

[3]

检测设备及检测方法、检测系统及存储介质 [P].

陈鲁 ;

王南朔 ;

王秋实 ;

卢继奎 ;

马砚忠 ;

张嵩 .

中国专利 :CN115561255A ,2023-01-03

[4]

检测方法及检测系统、设备和存储介质 [P].

陈鲁 ;

雷云龙 ;

张嵩 .

中国专利 :CN114022503A ,2022-02-08

[5]

误差检测方法、系统、检测设备及存储介质 [P].

姜元正 ;

迟小羽 ;

史学冬 .

中国专利 :CN114648580A ,2022-06-21

[6]

误差检测方法、系统、检测设备及存储介质 [P].

姜元正 ;

迟小羽 ;

史学冬 .

中国专利 :CN114648580B ,2025-07-25

[7]

检测方法、装置、设备、系统及存储介质 [P].

陈鲁 ;

黄剑 ;

姚军 ;

张鹏斌 ;

张嵩 .

中国专利 :CN118067735A ,2024-05-24

[8]

检测方法、检测系统、设备及存储介质 [P].

陈鲁 ;

刘健鹏 ;

顾玥 ;

张鹏斌 ;

张嵩 .

中国专利 :CN117388279A ,2024-01-12

[9]

检测方法、检测系统、设备及存储介质 [P].

陈鲁 ;

刘健鹏 ;

顾玥 ;

张鹏斌 ;

张嵩 .

中国专利 :CN117388280A ,2024-01-12

[10]

缺陷检测方法、装置、设备、系统及存储介质 [P].

陈鲁 ;

肖瑶 ;

张鹏斌 ;

张嵩 .

中国专利 :CN117670781A ,2024-03-08

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