一种可旋转靶材装夹装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710894748.4

申请日：

2017-09-28

公开(公告)号：

CN107815652A

公开(公告)日：

2018-03-20

发明(设计)人：

武晔辉

申请人：

申请人地址：

210000 江苏省南京市高淳经济开发区双高路89号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1432

代理机构：

苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251

代理人：

成园玲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20170928
2020-05-19	授权	授权
2020-05-12	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 14/34 登记生效日:20200422 变更事项:申请人变更前权利人:南京宝丽晶电子科技有限公司变更后权利人:深圳市众诚达应用材料科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:210000 江苏省南京市高淳经济开发区双高路89号变更后权利人:518000 广东省深圳市光明新区公明街道上村社区莲塘工业城C区第39栋一楼
2018-03-20	公开	公开

共 50 条

[1]

旋转靶材脱脂装炉装置 [P].

刘永成 ;

郭梓旋 ;

莫国仁 ;

谭宏 ;

陈明飞 ;

龙泷 ;

陈明高 ;

王志杰 ;

江长久 .

中国专利 :CN214792568U ,2021-11-19

[2]

一种靶材清洗装夹装置 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

王徐 .

中国专利 :CN215696618U ,2022-02-01

[3]

一种旋转靶材装粉装置及装粉方法 [P].

蔡基常 ;

罗智星 ;

谭永健 ;

陈志杰 .

中国专利 :CN119568479A ,2025-03-07

[4]

一种靶材加工用装夹装置 [P].

王懿 .

中国专利 :CN112809418A ,2021-05-18

[5]

一种靶材背板的装夹装置 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

王徐 .

中国专利 :CN212270246U ,2021-01-01

[6]

一种可旋转装夹装置 [P].

侯云宽 ;

孙政邦 ;

安百全 .

中国专利 :CN210281396U ,2020-04-10

[7]

一种旋转靶材 [P].

覃洪高 ;

李明麟 ;

姚佳伟 ;

肖敏毅 ;

冯冬发 .

中国专利 :CN218372490U ,2023-01-24

[8]

一种旋转靶材 [P].

臧龙杰 ;

周俊荣 ;

齐东淼 ;

沈雷振 ;

曾静 .

中国专利 :CN217378016U ,2022-09-06

[9]

一种旋转靶材 [P].

常代展 ;

王雷 .

中国专利 :CN208121190U ,2018-11-20

[10]

一种旋转靶材 [P].

边逸军 ;

姚力军 ;

侯娟华 ;

王学泽 .

中国专利 :CN223357730U ,2025-09-19

← 1 2 3 4 5 →