半导体制程检测系统及半导体制程检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010785550.4

申请日：

2020-08-06

公开(公告)号：

CN114068347A

公开(公告)日：

2022-02-18

发明(设计)人：

黎焕诚陈咏裕

申请人：

申请人地址：

230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260

代理人：

成丽杰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20200806
2022-02-18	公开	公开

共 50 条

[1]

半导体制程检测系统及半导体制程检测方法 [P].

黎焕诚 ;

陈咏裕 .

中国专利 :CN114068347B ,2024-06-21

[2]

半导体制程检测方法及检测系统 [P].

陈振豪 ;

张四海 ;

余凯祥 .

中国专利 :CN112397404B ,2021-02-23

[3]

半导体制程机台及其半导体制程 [P].

林武郎 ;

郑煌玉 ;

王陈右 ;

陈世敏 ;

范釗傑 ;

高诚志 ;

刘又瑋 .

中国专利 :CN104253065A ,2014-12-31

[4]

半导体制程 [P].

王文杰 ;

陈逸男 ;

刘献文 .

中国专利 :CN102810505A ,2012-12-05

[5]

半导体制程 [P].

李秋德 .

中国专利 :CN101667540A ,2010-03-10

[6]

半导体制程 [P].

苏煜中 ;

罗冠昕 ;

郑雅如 ;

张庆裕 ;

林进祥 .

中国专利 :CN110824845A ,2020-02-21

[7]

半导体制程系统 [P].

张志逢 ;

陈伟仁 ;

李俊億 ;

林展永 .

中国专利 :CN212322971U ,2021-01-08

[8]

半导体制程系统 [P].

利治育 ;

卢建宏 ;

郑迺汉 .

中国专利 :CN221427679U ,2024-07-26

[9]

半导体制程系统 [P].

魏愷进 ;

陈哲夫 .

中国专利 :CN112750725A ,2021-05-04

[10]

半导体制程监视装置及半导体制程监视方法 [P].

井口和也 ;

增冈英树 ;

大冢贤一 .

日本专利 :CN120457526A ,2025-08-08

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