一种基于Faraday效应的光谱椭偏仪及测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011405018.1

申请日：

2020-12-03

公开(公告)号：

CN112683180B

公开(公告)日：

2021-04-20

发明(设计)人：

陈新元

申请人：

申请人地址：

美国加州圣何塞维尔维科路7212号

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

代理机构：

苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266

代理人：

阮梅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20201203
2022-11-11	授权	授权
2021-04-20	公开	公开

共 50 条

[1]

一种共轴超快光谱椭偏仪及测量方法 [P].

王健 ;

翟福琪 ;

彭立华 ;

卢文龙 ;

徐龙 ;

周莉萍 .

中国专利 :CN113777048A ,2021-12-10

[2]

一种微型化光谱椭偏仪装置和测量方法 [P].

刘世元 ;

张传维 ;

陶泽 .

中国专利 :CN104568765A ,2015-04-29

[3]

一种适用于光谱椭偏仪的薄膜厚度初值测量方法 [P].

郭春付 ;

夏小荣 ;

李伟奇 ;

张传维 ;

李竹 .

中国专利 :CN109470154A ,2019-03-15

[4]

一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法 [P].

刘世元 ;

李伟奇 ;

张传维 ;

陈修国 .

中国专利 :CN103134592A ,2013-06-05

[5]

基于四次光强测量的Mueller型椭偏仪椭偏参数测量方法及装置 [P].

胡浩丰 ;

刘铁根 ;

李校博 .

中国专利 :CN109459138A ,2019-03-12

[6]

光谱椭偏测量方法、系统及存储介质 [P].

韩景珊 ;

王瑜 ;

杨峰 ;

吕彤欣 .

中国专利 :CN116297227B ,2025-08-12

[7]

基于光谱椭偏的平面应力测量方法 [P].

成轩实 ;

王世斌 ;

李林安 .

中国专利 :CN118533338A ,2024-08-23

[8]

一种基于椭偏仪的薄膜温度测量方法 [P].

张荣君 ;

郑玉祥 ;

陈良尧 ;

张帆 ;

林崴 ;

耿阳 ;

卢红亮 .

中国专利 :CN102507040B ,2012-06-20

[9]

瞬时椭偏仪或散射仪及相关测量方法 [P].

奥利维耶·阿谢 ;

亚历山大·波佐罗夫 ;

坦-连·源 ;

布利斯·维利埃 ;

杰拉尔丁·梅里齐 ;

简-保罗·加斯东 .

法国专利 :CN112236666B ,2025-02-18

[10]

瞬时椭偏仪或散射仪及相关测量方法 [P].

奥利维耶·阿谢 ;

亚历山大·波佐罗夫 ;

坦-连·源 ;

布利斯·维利埃 ;

杰拉尔丁·梅里齐 ;

简-保罗·加斯东 .

中国专利 :CN112236666A ,2021-01-15

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