一种掩模生产过程中的巡检装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN202021371143.0
申请日
2020-07-14
公开(公告)号
CN212411010U
公开(公告)日
2021-01-26
发明(设计)人
张月圆 华卫群 刘维维 刘浩
申请人
申请人地址
214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道202号
IPC主分类号
G03F184
IPC分类号
代理机构
连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330
代理人
胡荣
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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