一种酸性蚀刻液闭环再生的方法及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110974744.3

申请日：

2021-08-24

公开(公告)号：

CN113667980A

公开(公告)日：

2021-11-19

发明(设计)人：

张伟奇李再强黄文涛梁民

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区南玻大道富华工业区第10栋厂房201

IPC主分类号：

C23F146

IPC分类号：

C25C706 C25C700 C25C704 C25C112 C23F118

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

王艳斋

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-19	公开	公开
2021-12-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/46 申请日:20210824

共 50 条

[1]

一种酸性蚀刻液闭环再生的方法及系统 [P].

张伟奇 ;

李再强 ;

黄文涛 ;

梁民 .

中国专利 :CN113667980B ,2024-03-12

[2]

酸性蚀刻废液的再生回收方法及系统 [P].

明果英 ;

周军 ;

刘红江 ;

周磊 ;

谢智宇 ;

李晋波 ;

黄铮铮 .

中国专利 :CN102732888A ,2012-10-17

[3]

酸性蚀刻液再生回收系统 [P].

明果英 ;

周军 ;

赵建成 ;

张勇 .

中国专利 :CN202610332U ,2012-12-19

[4]

酸性蚀刻废液的再生回收系统 [P].

明果英 ;

周军 ;

刘红江 ;

周磊 ;

谢智宇 ;

李晋波 ;

黄铮铮 .

中国专利 :CN202945326U ,2013-05-22

[5]

同时电解再生酸性蚀刻液和微蚀液的方法 [P].

刘景亮 .

中国专利 :CN1966773A ,2007-05-23

[6]

再生酸性蚀刻液、酸性蚀刻液及酸性蚀刻液再生方法 [P].

张伟奇 ;

李再强 ;

黄文涛 ;

梁民 .

中国专利 :CN113957440A ,2022-01-21

[7]

提高酸性蚀刻液再生回用率的系统及方法 [P].

刘剑锋 ;

高东瑞 ;

李强 .

中国专利 :CN109943850A ,2019-06-28

[8]

一种酸性蚀刻液再生方法 [P].

郑健成 ;

周建新 ;

戴中辉 ;

关家彬 ;

叶保基 .

中国专利 :CN110106506A ,2019-08-09

[9]

酸性蚀刻液再生系统 [P].

罗其云 .

中国专利 :CN204550715U ,2015-08-12

[10]

提高酸性蚀刻液再生回用率的系统 [P].

刘剑锋 ;

高东瑞 ;

李强 .

中国专利 :CN209836312U ,2019-12-24

← 1 2 3 4 5 →