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一种二极管酸洗装置及酸洗工艺
被引：0
申请号：
CN202210691627.0
申请日：
2022-06-17
公开(公告)号：
CN114999965A
公开(公告)日：
2022-09-02
发明(设计)人：
石宏彬
申涛
申请人：
申请人地址：
434000 湖北省荆州市沙市区红门路88号水木香郡9幢301室
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2102
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-02 | 公开 | 公开 |
| 2022-09-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20220617 |