半导体排放气体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710138266.2

申请日：

2007-07-31

公开(公告)号：

CN101357295A

公开(公告)日：

2009-02-04

发明(设计)人：

今村启志

申请人：

申请人地址：

日本京都

IPC主分类号：

B01D5374

IPC分类号：

F23G706

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

何腾云

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-12-05	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101481000102 IPC(主分类):B01D 53/74 专利申请号:2007101382662 申请公布日:20090204
2010-06-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101003374254 IPC(主分类):B01D 53/74 专利申请号:2007101382662 申请日:20070731
2009-02-04	公开	公开

共 50 条

[1]

半导体排放气体处理装置 [P].

今村启志 .

中国专利 :CN101357296A ,2009-02-04

[2]

一种排放气体处理装置 [P].

王国梁 ;

徐盛荣 ;

崔泽虎 ;

王鹏杰 ;

曹阳 ;

常俊骁 ;

徐聪 ;

李昭晨 ;

牛晓博 ;

晚军艳 ;

康明 .

中国专利 :CN222551097U ,2025-03-04

[3]

一种用于排放气体的气体处理装置及其气体排放装置 [P].

王晓丰 .

中国专利 :CN205048501U ,2016-02-24

[4]

一种用于排放气体的气体处理装置及其气体排放装置 [P].

王晓丰 .

中国专利 :CN104879814A ,2015-09-02

[5]

配备扩散部的排放气体处理装置 [P].

李树泰 ;

李水奎 ;

金龙燮 ;

陆根在 ;

陈圣宰 ;

崔涌气 .

中国专利 :CN110621853B ,2019-12-27

[6]

一种半导体生产用的有毒气体排放气体解毒装置 [P].

王军 ;

俞利群 ;

俞云琪 .

中国专利 :CN209378704U ,2019-09-13

[7]

处理排放气体的系统 [P].

申铉琇 ;

金正植 ;

郑鹏翊 .

中国专利 :CN106457118B ,2017-02-22

[8]

排放气体后处理方法 [P].

朴焌成 .

中国专利 :CN102477887A ,2012-05-30

[9]

一种发动机排放气体的处理装置 [P].

沈鹤琦 ;

丁君 ;

苏晨 .

中国专利 :CN204755032U ,2015-11-11

[10]

排放气体降噪装置 [P].

陈晓东 .

中国专利 :CN201581960U ,2010-09-15

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