烧结体、溅射靶及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710734442.2

申请日：

2017-08-24

公开(公告)号：

CN107779821B

公开(公告)日：

2018-03-09

发明(设计)人：

挂野崇梶山纯

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1408

IPC分类号：

C23C1434

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

吕琳;朴秀玉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-18	授权	授权
2018-03-09	公开	公开
2018-04-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/08 申请日:20170824

共 50 条

[1]

IZO烧结体溅射靶及其制造方法 [P].

挂野崇 ;

山口洋平 ;

远藤瑶辅 .

中国专利 :CN107614741B ,2018-01-19

[2]

烧结体、溅射靶及烧结体的制造方法 [P].

秀岛正章 ;

角田浩二 .

中国专利 :CN110937891A ,2020-03-31

[3]

钨烧结体溅射靶及其制造方法 [P].

大桥一允 ;

冈部岳夫 .

中国专利 :CN105102670B ,2015-11-25

[4]

烧结体溅射靶 [P].

佐藤敦 ;

中村祐一郎 .

中国专利 :CN103270190B ,2013-08-28

[5]

氧化物烧结体溅射靶及其制造方法 [P].

高桥一寿 ;

日高浩二 ;

川越裕 ;

武末健太郎 ;

和田优 ;

上野充 ;

清田淳也 ;

小林大士 ;

武井应树 .

中国专利 :CN108350564A ,2018-07-31

[6]

溅射靶及其制造方法 [P].

山本浩由 ;

奈良淳史 .

日本专利 :CN117396630A ,2024-01-12

[7]

溅射靶及其制造方法 [P].

张守斌 ;

梅本启太 .

中国专利 :CN104520468A ,2015-04-15

[8]

溅射靶及其制造方法 [P].

张守斌 ;

梅本启太 ;

小路雅弘 .

中国专利 :CN104024470A ,2014-09-03

[9]

氧化物烧结体、溅射靶及溅射靶的制造方法 [P].

海上晓 .

中国专利 :CN113423860A ,2021-09-21

[10]

氧化物烧结体、溅射靶以及溅射靶的制造方法 [P].

海上晓 .

中国专利 :CN113677821A ,2021-11-19

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