一种清洗大尺寸石英晶片的清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720497475.5

申请日：

2017-05-08

公开(公告)号：

CN206794265U

公开(公告)日：

2017-12-26

发明(设计)人：

李健李渐进崔素芝

申请人：

申请人地址：

454650 河南省焦作市济源市科技工业区济源石晶光电频率技术有限公司

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

B08B304

代理机构：

郑州德勤知识产权代理有限公司 41128

代理人：

宋文龙

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-26	授权	授权

共 50 条

[1]

一种清洗大尺寸石英晶片的清洗装置 [P].

李天晴 .

中国专利 :CN211217793U ,2020-08-11

[2]

石英晶片清洗装置 [P].

李海丰 .

中国专利 :CN204699994U ,2015-10-14

[3]

一种石英晶片超声清洗装置 [P].

崔晨 ;

张圣亮 .

中国专利 :CN223234586U ,2025-08-19

[4]

一种石英晶片清洗装置 [P].

罗小平 ;

余慧珍 ;

黎尚作 ;

颜斌 ;

陈善英 ;

罗小爱 .

中国专利 :CN220387294U ,2024-01-26

[5]

一种大规格晶片的清洗装置 [P].

张帮岭 ;

董振峰 .

中国专利 :CN208879228U ,2019-05-21

[6]

石英晶片的清洗装置 [P].

李群胜 ;

汤剑波 .

中国专利 :CN202061841U ,2011-12-07

[7]

石英晶片清洗装置 [P].

申红卫 ;

李健 ;

翟艳飞 .

中国专利 :CN206794251U ,2017-12-26

[8]

一种石英晶片自动清洗装置 [P].

李直荣 ;

温从众 ;

李直权 .

中国专利 :CN210497463U ,2020-05-12

[9]

一种石英晶片清洗装置 [P].

李天晴 .

中国专利 :CN210550015U ,2020-05-19

[10]

一种大尺寸硅片的清洗槽 [P].

朱少波 ;

张良 ;

刘瑞鸿 ;

姬俊杰 ;

余刚 ;

曹国庆 .

中国专利 :CN213996979U ,2021-08-20

← 1 2 3 4 5 →