激光剥离装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201080068001.X

申请日：

2010-09-28

公开(公告)号：

CN102986005A

公开(公告)日：

2013-03-20

发明(设计)人：

松田僚三鸣海惠司

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21268

IPC分类号：

H01L2102 H01L2120

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

徐殿军

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-11-12	授权	授权
2013-04-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101438520406 IPC(主分类):H01L 21/268 专利申请号:201080068001X 申请日:20100928
2013-03-20	公开	公开

共 50 条

[1]

激光剥离方法以及激光剥离装置 [P].

松田僚三 ;

鸣海惠司 ;

田中一也 ;

筱山一城 ;

松元峻士 .

中国专利 :CN102986001A ,2013-03-20

[2]

激光剥离装置及激光剥离方法 [P].

野村彻 ;

松田僚三 ;

筱山一城 ;

鸣海惠司 .

中国专利 :CN103295947A ,2013-09-11

[3]

激光剥离装置 [P].

鸣海惠司 .

中国专利 :CN104972231A ,2015-10-14

[4]

激光剥离装置及激光剥离方法 [P].

陈新亮 ;

苑立阁 ;

孙贤文 .

中国专利 :CN115394712A ,2022-11-25

[5]

激光剥离装置及激光剥离方法 [P].

顾杨 ;

张广庚 ;

黄朝葵 ;

刘佳擎 ;

李庆 ;

于波 .

中国专利 :CN113809208A ,2021-12-17

[6]

激光剥离方法及激光剥离装置 [P].

冯雪 ;

艾骏 ;

陈颖 .

中国专利 :CN111146137A ,2020-05-12

[7]

激光剥离平台及激光剥离装置 [P].

陈新亮 ;

苑立阁 ;

孙贤文 .

中国专利 :CN217071140U ,2022-07-29

[8]

激光剥离装置 [P].

李成明 ;

杨少延 ;

石超 ;

崔草香 ;

朱瑞平 ;

刘祥林 ;

郭柏君 ;

陈兆显 .

中国专利 :CN118492640A ,2024-08-16

[9]

激光剥离装置 [P].

三宫暁史 ;

蔡永洙 ;

朴喆镐 .

韩国专利 :CN223616954U ,2025-12-02

[10]

激光剥离装置 [P].

李成明 ;

杨少延 ;

石超 ;

崔草香 ;

朱瑞平 ;

刘祥林 ;

郭柏君 ;

陈兆显 .

中国专利 :CN118492640B ,2024-10-18

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